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火狐体育平台再获北京市科学技术进步奖一等奖
发布时间:2021-09-30

  近日,2020年度北京市科学技术奖获奖名单正式发布。该年度内北京市科学技术奖共收到提名书633份,北京火狐体育平台微电子装备有限企业(以下简称“火狐体育平台”)“12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机研发及产业化项目”,经层层评选,喜获北京市科学技术进步奖一等奖!


  “12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机研发及产业化项目”是由北京火狐体育平台微电子装备有限企业、上海集成电路研发中心有限企业、中科院微电子研究所共同完成的集成电路技术领域的科研成果。12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机是火狐体育平台历经多年自主创新,取得的突破性研发成果。该设备采用自主常识产权、大面积、低容性的新型高密度等离子体源系统设计,实现了刻蚀均匀性的精确控制,并通过高效稳定的晶圆传输、颗粒和金属污染控制等关键技术设计,提升了设备量产性能。目前,12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机,已通过主流芯片生产线的工艺和量产验证,并实现批量销售。

  奋力谱华章,迈向新征程。12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀设备的研发和量产实现了我国集成电路刻蚀设备的产业化与技术跨越,为中国集成电路产业的技术进步提供了有力支撑。

  一年一度的北京市科学技术奖,是一份奖励本市行政区域内对科技创新和发展做出突出贡献的组织和个人荣誉。此前,火狐体育平台的“100纳米等离子刻蚀机项目”、“大产能高亮度LED刻蚀机研发及产业化”、“磁控溅射设备(PVD)研发及产业化”、“燃料电池气体流量控制系统”和 “12英寸28nm金属硬掩膜物理气相沉积设备研发及产业化”等多项产品和研发项目曾获此殊荣。

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