采用氮化镓基发光二极管作为光源的半导体照明技术，以其节能、高效、寿命长等优点被广泛应用于照明、大屏幕显示、指示灯、背光源等领域，其技术发展迅速、应用领域广泛、产业带动性强、节能潜力大，被公认为具有发展前景的高效照明产业。在LED领域，ICP刻蚀机自面市以来已经实现了两百台的销售突破，其中GaN刻蚀机新增市占率超过80%，成为行业标杆机型；自主开发的应用于LED制程的AlN缓冲层沉积设备，引领LED领域技术发展，凭借其优越的性能，成为客户信赖的技术创新产品。